- [檢測百科]分享:不同Si3N4 相涂層坩堝中全熔多晶硅錠的制備及表征2021年08月26日 14:50
- 以αGSi3N4 和βGSi3N4 粉為原料,采用免燒結(jié)工藝在坩堝內(nèi)壁上分別制備了αGSi3N4 涂層、βGSi3N4 涂層以及二者質(zhì)量比為1∶1的復合涂層,然后在這些涂層坩堝中制備得到了多晶硅鑄錠,觀察了涂層和硅錠的表面形貌,測試了硅錠的表面粗糙度、晶粒大小以及紅區(qū)長度.結(jié)果表明:αGSi3N4 涂層表面粗糙不平、起伏不均勻,對應硅錠的表面粗糙度和晶粒尺寸最大,
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